硅基MEMS单轴加速度计

参数

加速度

单位

型号

XRMA-H60

量程

60

g

封装

CLCC48

轴向

Y

标度非线性

<500ppm

ppm（IEEE Norm , of full scale）

带宽（可调）3db

>150

Hz

带宽90度相移

>85

Hz

延时

<3

ms

二阶非线性

<10

µg/g2

噪声

<30

µg/√Hz @1hz

阈值

<30

µg

出厂前零偏室温

<±1

mg(室温标定值)

出厂前零偏温漂

<±0.5

mg

出厂前零偏温度滞回

<0.2

mg

出厂后零偏补偿残余

<±0.15

mg

零偏稳定性 1s平滑

<15

ug

零偏稳定性 10s平滑

<5

ug

零偏稳定性 allan

<2

ug

月重复性

<±0.03

mg

开关重复性 1σ

<10

ug

出厂设置标度

20000000

lsb/g(室温标定值)

月重复性

<±20

ppm

标度温度系数

<40

ppm/摄氏度

标度系统温补后残差

<100

ppm（二阶补偿,芯片出厂前补偿）

启动时间

<500

ms

采样频率(可调)

>10K

Hz

带电冲击

300

g

不带电冲击

300

g

振动

18

g

工作温度

’-40___+85

摄氏度

电源电压

5±0.25

V

电流

<30

ma

通信接口

SPI

尺寸

11*11*2.5